上海微电子取得光刻机扫描系统及远心异常校准方法专利

金融界2025年6月17日消息，国家知识产权局信息显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司取得一项名为“光刻机扫描系统及光刻机扫描系统远心异常校准方法”的专利，授权公告号CN114647154B，申请日期为2020年12月。

天眼查资料显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司，成立于2002年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本26612.41万人民币。通过天眼查大数据分析，上海微电子装备（集团）股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目142次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息3012条，此外企业还拥有行政许可108个。

来源：金融界