上海华力微电子取得线圈支架等相关专利，有效提升功率传输效率

金融界2025年5月3日消息，国家知识产权局信息显示，上海华力微电子有限公司取得一项名为“线圈支架、射频匹配电路组件以及半导体制造设备”的专利，授权公告号CN 222801508 U，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本实用新型提供一种线圈支架、射频匹配电路组件以及半导体制造设备，线圈支架包括：至少两个固定柱；固定柱上设置有多个固定槽，多个固定槽沿固定柱的轴向间隔排布，固定槽用于供线圈穿设；任一固定柱中相邻的两个固定槽之间的轴向距离相等；且至少在固定槽与线圈的接触部位设置有隔热层。如此配置，通过设置至少两个固定柱，避免了线圈只有一侧受力，保证线圈受力均匀；且任一固定柱上相邻的两个固定槽的轴向距离相等，使得线圈的间距固定；同时，至少在固定槽与线圈的接触部位设置隔热层，使得在线圈功率增大，温度上升时，线圈支架不易变形，能够保证射频电路的输出功率稳定，有效提升功率传输效率，进而提升半导体生产效率。

来源：金融界