上海微电子装备取得对准装置、光刻机及对准方法专利

金融界2025年5月9日消息，国家知识产权局信息显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司取得一项名为...

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上海微电子取得对准装置光刻机及对准方法相关专利

金融界2025年5月20日消息，国家知识产权局信息显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司取得一项名...

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上海微电子取得对准装置、光刻机以及对准方法专利

金融界2025年5月16日消息，国家知识产权局信息显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司取得一项名...

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