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  • 上海微电子申请激光退火方法及设备专利,保证基底全片的退火均匀性

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  • 上海微电子申请芯片缺陷检测方法及装置专利,提高缺陷检测精准度

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  • 星奇(上海)微电子有限公司成立,注册资本500万人民币

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